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GB/T 11446.1 2013 电子级水

作者:admin 点击: 发布时间:2023-03-03 09:12:11

电子级水.png

电子级水:电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

Ⅰ级电子级水标记为:EW-Ⅰ,电阻率(25℃) ≥18MΩ·cm (5%时间不 低于17) 

Ⅱ级电子级水标记为:EW-Ⅱ电阻率(25℃) ≥15MΩ·cm (5%时间不 低于13)

Ⅲ级电子级水标记为:EW-Ⅲ电阻率(25℃) ≥12MΩ·cm  

Ⅳ级电子级水标记为:EW-Ⅳ电阻率(25℃) ≥0.5MΩ·cm

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