GB/T 11446.1 2013 电子级水

电子级水：电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。

Ⅰ级电子级水标记为：EW-Ⅰ，电阻率（25℃） ≥18MΩ·cm （5%时间不 低于17） 

Ⅱ级电子级水标记为：EW-Ⅱ，电阻率（25℃） ≥15MΩ·cm （5%时间不 低于13）

Ⅲ级电子级水标记为：EW-Ⅲ，电阻率（25℃） ≥12MΩ·cm  

Ⅳ级电子级水标记为：EW-Ⅳ，电阻率（25℃） ≥0.5MΩ·cm

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